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塵埃粒子計數器應用背景
潔凈室潔凈度確認中，有一項塵埃粒子檢測，是主要關鍵項之一，激光塵埃粒子計數器是用來測定潔凈空氣中離散粒子的粒徑及其粒子濃度的儀器，用以確定潔凈室、潔凈區的潔凈度等級，也可以用來對潔凈工作臺和過濾器等的性能進行檢測。人們對塵埃粒子計數器的要求也越來越高，需要檢測的粒徑也越來越小，對儀器的準確性要求越來越嚴格。
翻閱資料，我發現國外所有塵埃粒子計數器如TSI塵埃粒子計數器的性能指標上都有一項技術參數重合誤差。
重合誤差是什么？
塵埃粒子計數器利用了光散射原理設計而成，采樣空氣以一定的流量從開啟的吸氣口通過有穩定光源照射的照射區，光線在空氣懸浮粒子上發生散射，向前和向內的散射光會聚在光電倍增管之類的光電元件上，轉換成了電脈沖信號。利用脈沖峰值與散射光強度成正比，而散射光強度又和粒子直徑大小成一定比例，就可以通過分析電脈沖信號峰值來選擇所需粒徑，后通過計算選定的脈沖信號數目就可得到大于特定粒徑的微粒數量，從而測得一定氣體流量下的粒子濃度。
因此，為了更為準確的檢測數據，我們一般只允許在潔凈室中使用塵埃粒子計數器，在非潔凈區域，不建議使用激光塵埃粒子計數器，原因是：重合誤差大，會污染粒子計數器。
